애질런트 VacIon 10L/s 펌프는 비활성기체에 최적화된 다이오드 또는 비활성 다이오드 구성이 특징으로 수소와 같은 잔존 기체에 대한 효율성이 높습니다.
이러한 펌프는 비활성기체 부하를 처리하기 위한 펌핑 속도 및 기능이 중요하지만, 제한된 설치 공간 때문에 콤팩트한 크기 또한 포기할 수 없는 응용 분야에서 일반적으로 사용됩니다.

학계와 실험실 연구 환경에서 일반적으로 사용되는 이러한 소형 이온 펌프는 다양한 UHV 및 XHV 응용 분야에 무입자, 무진동 솔루션을 제공합니다.

● 실장치에서 초고 진공 상태를 유지하기 위해 일반적으로 사용하는 10L/s 펌프
● 수소와 같은 잔존 기체 및 비활성기체에 최적화, 뛰어난 UHV 성능
● 낮은 누설 전류로 안정적인 vacuum 압력 판독
● 다양한 고전압 피드스루, 바디 기하학 및 펌핑 셀 배치를 통한 사용자 맞춤형 제품 제작으로 요구 충족
● 낮은 자기장으로 시스템 간섭 최소화
● >400°C에서의 진공 처리와 진공 상태에서의 핀치 오프를 통해 설치 전 청결과 진공 무결성
● 특정 요구 사항을 추가할 수 있는 특별한 시험 절차