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[Turbo Pumps] Turbo-V 1K-G 펌프

설명

고효율 Agilent Turbo-V 1K-G 터보 분자 펌프는 전용 진공 펌핑 시스템으로 1000L/s의 펌핑 속도를 제공합니다. 
Turbo-V 1K-G는 산업용, 특히 박막 증착 장비용 터보 펌프로 설계되었습니다. 펌핑 스테이지 및 전체 펌프 구조는 고온 로드 상태에서 매우 높은 유량의 아르곤과 함께 작동할 수 있도록 최적화되어 있습니다.

일반적인 산업용 진공 코팅 응용 분야에는 태양광 및 평판 패널 디스플레이 제조가 포함됩니다. 
펌프의 견고한 설계와 고급 전자 장치, 랙 유형 또는 온보드 솔루션 덕분에 Turbo-V 1K-G는 진공 코팅 산업을 위한 최적의 펌핑 솔루션입니다.

특징

● 박막 증착을 위해 설계된 응용 분야별 펌핑 솔루션
● 매우 높은 아르곤 흐름에서 작동하도록 최적화됨
● 높은 가스 흐름을 관리할 수 있어 DN160 또는 200을 사용하여 고효율 응용 분야에서 작동 가능
● 지속적인 작동을 위한 견고한 디자인과 고효율 냉각 시스템
● 펌프 가스 퍼지는 펌프 베어링을 보호하고 시스템 오염 물질 및 미립자로 원활한 작동을 허용합니다.
● 시스템에 영향을 주지 않는 낮은 소음 레벨
● 컴팩트한 크기와 위치에 구애받지 않는 설치로 손쉽게 통합 가능
● 베어링 유지보수가 필요없어 운영 비용 제로(0)
● 이동 중 펌프 작동을 위해 Vacuum Link 앱을 통해 무선으로 제어 가능
● 다목적 전자 인터페이스

사양서

#	제목	내용
1	공칭 회전 속도	45.5KRPM
2	권장 포어펌프 용량	20 m³/h
3	기본 압력	<1 x 10^-10 mbar
4	무게	26.8 kg
5	시작 시간	< 5분
6	압축비 H2	1.5 x 10⁴
7	작동 위치	Any
8	주변 작동 온도	+5 to +35 °C
9	주변 저장 온도	-20~+70 °C
10	진동 수준	< 흡입구 플랜지에서 0.01μm

#	제목	내용
11	펌핑 속도 - Ar	1040L/s(ISO 200) L/s
12	펌핑 속도 - H2	730L/s(ISO 200) L/s
13	펌핑 속도 - He	1150L/s(ISO 200) L/s
14	펌핑 속도 - N2	1080L/s(ISO 200) L/s
15	포어라인 플랜지 크기	KF 25 NW
16	포어라인 허용 압력 - N2	3 mbar
17	플랜지 유형	ISO 160 F
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